混合气

几种常见混合气的用途

（1）激光混合气：

常见的激光混合气有氦氖激光混合气、二氧化碳激光混合气、氪氟激光混合气、密封束激光混合气和准分子激光混合气。

（2）标准校正气体：

标准校正气体的应用：

1、在气体标准化研究中的应用；

2、在气体产品质量监督和质量控制中的应用；

3、仪器仪表的校准与刻度；

4、大气环境监测离不开标准校正气体；

5、在医疗卫生、临床化验中的应用；

6、在分析方法的评价方面。

（3）电子工业用混合气：

电子工业用混合气是指在大规模集成电路（LSI）、很大规模集成电路（VLSI）和半导体器件制造中，用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺（工序）的一类特别电子混合气。主要有外延（生长）混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。

（4）电光源混合气：

主要用作白炽灯、特种光源灯（如红外线、强烈溢光灯、荧光灯、发光信号、太阳灯、臭氧灯、光化学灯、灭菌灯、紫外线灯、辉光灯、锆弧光灯、卤素气体照明灯等）和数字显示管的充填气。常见品种依其特性划分为稀有气体混合气、重氢混合气和灯泡氩混合气。为了延长灯具寿命，配制电光源混合气用的单元纯气体，其纯度要求一般均大于99.99%，并应严格控制氧化类杂质组分的含量。